isp_sarudin_202102.pdf

• Рудин Сергей Алексеевич, инженер ИФП СО РАН
• Ненашев Алексей Владимирович, с.н.с. ИФП СО РАН, НГУ, к.ф.-м.н.
• Зиновьев Владимир Анатольевич, н.с. ИФП СО РАН, к.ф.-м.н.
• Новиков Павел Леонидович, с.н.с. ИФН СО РАН, НГУ, к.ф.-м.н.
• Смагина Жанна Викторовна, н.с. ИФН СО РАН, к.ф.-м.н.
• Двуреченский Анатолий Васильевич, зав. лаб., д.ф.-м.н. ИФП СО РАН, НГУ, профессор

Проведено теоретическое исследование роста упорядоченных групп GeSi наноостровков (квантовых точек) на структурированных подложках Si(100), представляющих собой квадратную решетку из ямок округлой формы с различным углом наклона боковых стенок и периодом между ямками. Результаты моделирования показали, что в зависимости от периода между ямками меняется характер распределения островков: от полного их отсутствия для малых периодов до зарождения островков как вблизи ямок, так и между ними для больших периодов. С увеличением угла наклона боковых стенок ямки зарождение островков вблизи ямок происходит на более поздних стадиях осаждения Ge.

• Грант РФФИ №19-42-540002-р_а «Светоизлучающие структуры на основе пространственно упорядоченных GeSi квантовых точек, встроенных в оптические микрорезонаторы», руководитель Смагина Ж.В.
• Госзадание №0306-2019-0019

• Ж.В, Смагина, В.А. Зиновьев, М.В. Степихова, С.А. Рудин, Е.Е. Родякина, А.В. Новиков, А.В. Двуреченский, Упорядоченные группы Ge(Si) квантовых точек на КНИ-подложках, встроенные в фотонные кристаллы, Международный форум Микроэлектроника-2020, XIII Международная конференция "Кремний-2020", Республика Крым, г. Ялта, пгт Гурзуф, 21-25 сентября, 164-166 (2020). DOI: 10.29003/m1601.Silicon-2020/205-208
• Zh.V. Smagina, V.A. Zinoviev, S.A. Rudin, E.E. Rodyakina, P.L. Novikov, A.V. Nenashev, V.A. Armbrister, A.V. Dvurechenskii, Self-organization of Ge(Si) nanoisland groups on pit-patterned Si(100) substrates, 28th International symposium Nanostructures: Physics and Technology, Minsk, Belarus, September28-Octomber 2, 113-114 (2020). ISBN 978-5-93634-066-6.