nsu_pvstishenko_202412_ivnikolaev.pdf

• Николаев Иван Владимирович, к.ф.-м.н., с.н.с. ОПФ НГУ, руководитель коллектива
• Коробейщиков Николай Геннадьевич, к.ф.-м.н., в.н.с. ОПФ ФФ НГУ
• Стишенко Павел Викторович, к.ф.-м.н., с.н.с. ОПФ НГУ

На сегодняшний день формирование наноструктур на функциональных поверхностях различных материалов востребовано в солнечной энергетике, электронной технике, телекоммуникации, плазмонике, оптоэлектронике, создании высокочувствительных датчиков и других технологических приложений. Благодаря различным видам наноструктур (волнообразным, конусным, нанопилларам и др.), можно получать материалы с измененными или приобретенными свойствами, такими как высокая электрическая и/или термическая проводимость, оптическая активность, супергидрофобность и т.д. Наноструктурирование поверхности является апробированным способом улучшения функциональных свойств различных материалов без изменений их химического состава.

Целью данного проекта является развитие и совершенствование эффективного способа наноструктурирования функциональных поверхностей материалов для полупроводниковой продукции путем обработки ионно-кластерным пучком аргона (и возможно других благородных газов) при наклонных углах падения. Преимуществом пучков газовых кластерных ионов является высокая эффективность обработки поверхности материалов при минимальном повреждении приповерхностной структуры мишени. К настоящему времени формирование наноструктур с помощью кластерных ионов не описано в теоретических моделях. Данное направление имеет ограниченное количество экспериментальных работ.

• Грант РНФ № 23-79-10061 «Наноструктурирование функциональных поверхностей материалов с помощью газоструйных ионно-кластерных пучков для полупроводниковой продукции». Сроки гранта 07.2023 - 06.2026гг, руководитель - Николаев И.В.