С помощью расчетов на основе теории функционала плотности исследован атомный механизм влияния деформаций сжатия, образующихся на поверхности эпитаксиальных слоев Ge(111) со структурами 5×5 и 7×7, выращенных на подложке Si(111), на диффузию адатомов Ge. Установлены стабильные места адсорбции адатомов, их энергии, пути диффузии и соответствующие активационные барьеры. Было найдено, что энергетический барьер, ограничивающий миграцию адатомов Ge на большие расстояния, расположен вблизи угловых вакансий структуры 7×7 и вызван образованием ковалентной связи между адатомом Ge и атомом димера в составе структур 5×5 или 7×7. Показано, что скорости диффузии Ge на реконструированных поверхностях Ge(111)-5×5 и -7×7 должны быть близкими. Сопоставимые скорости диффузии на этих реконструированных поверхностях объясняются идентичным локальным расположением атомов в структурах 5×5 и 7×7. Кроме того, было найдено, что диффузионный барьер на упруго-сжатой поверхности Ge(111) значительно выше, чем на недеформированной поверхности. Увеличение диффузионного барьера на деформированной поверхности Ge(111) объясняется усилением связей в димерах при сжатии поверхности, что приводит к ослаблению связи между адатомом Ge и димером.