Рассмотрены методы и алгоритмы моделирования гетероэпитаксиального роста Ge на Si (100) методом Монте-Карло. Проведен анализ вычислительной сложности составляющих алгоритмы блоков моделирования и предложено распараллеливание трудоемких циклов с использованием директив открытого стандарта OpenMP.
Работа выполнена в рамках государственного задания ИФП СО РАН (ГЗ FWGW-2022-0011).