Численным МД моделированием исследованы повреждения поверхности плавленого кварца (SiO2), вносимые кластерами разных газов (Ne, Ar, Kr) с различными энергиями E/N 25 – 110 эВ/атом при нормальном и наклонном падении на мишень. Анализ параметров ударных кратеров показал, что при нормальном падении и одинаковой энергии E/N диаметр кратеров практически одинаков, хотя диаметры кластеров заметно отличаются. Объем кратеров (соответственно, и количество перемещенных атомов мишени) растет с увеличением удельной энергии кластеров E/N, при этом диаметр кратера при нормальном падении кластера и глубина кратера при наклонном падении слабо зависит от вида газа. Для исследованных газов доля распыленных атомов относительно обьема кратера обобщается в зависимости доли энергии кластеров, переданной мишени Esput/E.