С использованием теории функционала плотности исследована зависимость энергий связи адсорбированных атомов In и Al на поверхности (001) InAs и AlAs c реконструкцией β2(2×4) от деформаций биаксиального сжатия и растяжения. Построены карты поверхности потенциальной энергии адсорбированного атома In на поверхности (001) InAs и AlAs c реконструкцией β2(2×4). По результатам расчетов наблюдается общий тренд на увеличение абсолютных значений энергии связи адсорбированных атомов In и Al на поверхности (001) InAs и AlAs при увеличении деформации биаксиального растяжения. Для отдельных положений адсорбированных атомов наблюдается изменение знака производной зависимости энергии связи от величины биаксиальной деформации при изменении симметрии адсорбированного состояния атома.